反射式膜厚測量儀

反射式膜厚測量儀

SR系列反射式膜厚測量儀可用于測量半導(dǎo)體鍍膜，手機(jī)觸摸屏ITO等鍍膜厚度，PET柔性涂布的膠厚等厚度，LED鍍膜厚度，建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測量膜厚的場合。SR可用于測量2納米到3000微米的膜厚，測量精度達(dá)到0.1納米。 在折射率未知的情況下，還可用于同時(shí)對(duì)折射率和膜厚進(jìn)行測量。

此外，SR還可用于測量樣品的顏色和反射率。樣品光斑在1毫米以內(nèi)。A3-SR進(jìn)行測量簡單可靠，實(shí)際測量采樣時(shí)間低于1秒。配合我們的Apris SpectraSys 軟件進(jìn)行手動(dòng)測量，每次測量時(shí)間低于5秒。Apris SpectraSys支持50層膜以內(nèi)的模型并可對(duì)多層膜厚參數(shù)進(jìn)行測量。Apris SpectraSys 軟件還擁有近千種材料的材料數(shù)據(jù)庫，同時(shí)支持函數(shù)型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光學(xué)（Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz）,混合型（Maxwell Garnett, Bruggeman）EMA 等折射率模型。

同時(shí)，客戶還可以通過軟件自帶數(shù)據(jù)庫對(duì)材料，菜單進(jìn)行管理并回溯檢查測量結(jié)果。目標(biāo)應(yīng)用：半導(dǎo)體鍍膜,光刻膠玻璃減反膜測量藍(lán)寶石鍍膜,光刻膠ITO 玻璃太陽能鍍膜玻璃各種襯底上的各種膜厚，顏色測量卷對(duì)卷柔性涂布光學(xué)膜其他需要測量膜厚的場合.

產(chǎn)品型號(hào)和系統(tǒng)設(shè)置：

光學(xué)測量技術(shù)參數(shù)（OPTICAL SPECIFICATION）

膜厚測量性能指標(biāo)（THICKNESS SPECIFICATION）：

¹表內(nèi)為典型數(shù)值, 實(shí)際上材料和待測結(jié)構(gòu)也會(huì)影響性能

2 使用硅片上的二氧化硅測量，實(shí)際上材料和待測結(jié)構(gòu)也會(huì)影響性能

3 使用硅片上的二氧化硅（500納米）測量30次得出的1階標(biāo)準(zhǔn)均方差,每次測量小于1秒.

軟件(SOFTWARE)：